压电泵是一种利用压电材料逆压电效应实现液体定向流动的新型微流体输送仪器。由于压电材料的变形非常微小，限制了其输出能力；同时常规的压电泵工作频率较低，不能充分利用压电材料高频率下功率密度高的优势。为此，利用柔性铰链位移放大机构放大压电陶瓷的位移输出，并...