为改善铜衬底表面形貌，提出复合结构抛光工具的设计方法。依据线性液动压原理以及材料去除模型，进行液动压力流场特性的数值模拟分析，验证模拟数据的准确性，厘清铜衬底线性液动压抛光加工工艺参数对表面形貌的影响规律。研究表明：复合结构比单一的螺旋结构、不等距槽...