高温气体参数是分析高焓流场热化学特性及其与防热材料作用机理的重要基础，但由于流场温度高、气体化学反应剧烈，导致这些参数的测量信号难以标定，使得其定量测量非常困难。波长调制光谱技术作为一种可调谐二极管激光吸收光谱技术，具有抗干扰能力强的优点，非常适合应用于环境复杂的工业现场。通过理论仿真与实验测量的谐波信号进行迭代拟合，发展了免标定的波长调制技术数据处理方法，并成功应用到高频感应等离子体流场和电弧加热流场诊断中。高频感应等离子体流场的温度和电子密度测量结果与直接吸收法测量结果比较吻合，电弧加热流场焓值测量结果与能量平衡法计算结果相对误差约10%，验证了免标定数据处理方法的可靠性，可作为高焓流场参数定量测量的有效手段。