纳微米阵列的形状和纳微米柱的间距对用其制备性能优异的三维储能器件至关重要。以不同阳极氧化铝(AAO)模板作为基底，采用磁控溅射法制备了具有三维结构的Ni亚微米阵列，并通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征三维Ni亚微米阵列的微观形貌...