结合湿法蚀刻工艺和飞秒激光直写加工技术，在石英玻璃上制备了微孔阵列模板。利用形状记忆聚合物对模板进行软光刻复制，制备出了200×200(30.0μm)的微透镜阵列，通过Zemax仿真软件对微透镜的焦距及分辨率进行模拟仿真，结果与实验数据高度一致。在特...