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面向金刚石材料高质量激光加工的方法和研究进展
山东大学新一代半导体材料研究院;
山东大学晶体材料国家重点实验室
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张晓宇
王子昂
胡秀飞
葛磊
王英楠
韩赛斌
彭燕
徐明升
徐现刚
开通知网号
随着金刚石生长工艺的提升,金刚石加工面临更高要求,传统机械加工难以满足部分高精度需求。激光加工以其高精度、高效率、广泛适用性和可控性,已成为金刚石加工的主流技术。当前,激光在金刚石加工中的主要应用包括激光抛光、微通道、微孔加工、激光切割和激光剥离。本...
机 构:
山东大学新一代半导体材料研究院;
山东大学晶体材料国家重点实验室;
领 域:
物理学;
无机化工;
无线电电子学;
关键词:
金刚石;
激光加工;
激光抛光;
激光切割;
激光剥离;
格 式:
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