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六偏磷酸钠对镧铈基抛光液分散稳定性能的影响研究
有研稀土高技术有限公司稀土国家工程研究中心
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李泽帅
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镧铈基抛光液在液晶显示、集成电路、光学透镜等领域均有重要应用。抛光液的分散稳定性能是影响抛光速率、抛光质量的关键因素,而分散剂可以显著改变浆料的分散稳定性,但是分散剂的作用会受到抛光表面复杂的化学环境的影响。六偏磷酸钠(SHMP)是一种常用的分散剂,...
领 域:
无机化工;
金属学及金属工艺;
关键词:
镧铈基抛光液;
六偏磷酸钠;
抛光;
分散;
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中国稀土学会2023学术年会、第十五届中国包头·稀土产业论坛摘要集
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