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等离子物理气相沉积中材料的输运与沉积行为
西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
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王亚楠
刘梅军
杨冠军
开通知网号
等离子-物理气相沉积(PS-PVD)技术可以在特定操作参数下蒸发稀土锆酸盐涂层材料,制备具有良好的热匹配性能的柱状结构热障涂层。然而,由于PS-PVD的特殊条件,如极低的操作压力(~100Pa)、密闭的操作环境等,通过实验方法难以检测在PS-PVD射...
领 域:
金属学及金属工艺;
关键词:
等离子-物理气相沉积;
热障涂层;
宏观视线性;
微观非视线性;
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